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등록 : 2019.08.29 21:19 수정 : 2019.08.29 22:02

지난달 19일 서울 성북구 한국과학기술연구원에서 연구원들이 차세대 반도체 연구를 하고 있다. 연합뉴스

포토레지스트는 2건 허가됐지만
고순도 불화수소는 이번이 처음
삼성전자 반도체 공정 사용 예정

지난달 19일 서울 성북구 한국과학기술연구원에서 연구원들이 차세대 반도체 연구를 하고 있다. 연합뉴스
일본 정부가 반도체 공정에 필수적으로 사용되는 ‘고순도 불화수소(에칭가스)’의 한국 수출을 허가한 것으로 확인됐다. 지난 7월4일 일본 경제산업성이 반도체·디스플레이 핵심 소재 3가지에 대해 수출 규제를 강화한 뒤 불화수소 수출이 허가된 건 처음이다. 지난 28일 일본이 한국을 화이트리스트(전략물자 수출심사 우대국)에서 제외한 이후 첫 수출 허가이기도 하다.

29일 정부와 업계 설명을 종합하면, 일본 경제산업성은 이날 자국 업체가 한국에 고순도 불화수소를 판매할 수 있게 1건의 수출을 허가했다. 이는 국내 한 업체를 통해 삼성전자에 공급될 것으로 전해졌다. 불화수소는 반도체 제조 과정에서 회로 패턴 중 불필요한 부분을 깎아내는 작업(식각) 등에 사용되는 필수 소재다. 일본 정부가 고순도 불화수소와 함께 플루오린 폴리이미드 및 포토레지스트 등 반도체·디스플레이 관련 3대 품목에 수출 규제를 강화한 가운데, 포토레지스트의 경우 두 차례 수출이 허가된 바 있지만 불화수소는 그동안 허가 사례가 없었다. 이날 일본 재무성이 공개한 올해 7월 무역 통계를 보면 한국에 대한 일본의 불화수소 수출량은 479톤으로 6월 대비 83.7% 줄어든 것으로 집계됐다. 산업통상자원부 관계자는 “일본 정부가 수출을 중단한 게 아니라 수출 관리를 강화한 것이라는 걸 보여주는 한편, 시간이 흐르면서 자국 소재 업체들의 불만이 쌓이고 있는 상황 등을 반영한 것으로 보인다”고 말했다.

한편, 김정한 외교부 아시아태평양국장이 이날 오후 방한한 가나스기 겐지 일본 외무성 아시아대양주국장과 서울 외교부 청사에서 만나 강제동원 문제 등에 대해 의견을 교환했지만 “양국의 입장 차이가 여전히 커 실질적 진전은 없었다”고 외교부 당국자는 밝혔다. 한국 대법원의 강제동원 배상 판결과 관련한 해법에 대해 김 국장은 한국이 지난 6월에 제안한 ‘1+1’(한·일 기업의 자발적 참여로 위자료 지급) 방안을 토대로 양국간 협의를 통해 해법을 마련하자고 촉구했고, 가나스기 국장은 한국 대법원 판결이 “국제법 위반”이라며 시정을 요구하는 기존 주장을 되풀이해 간격이 컸던 것으로 알려졌다.

송경화 최하얀 박민희 기자 freehwa@hani.co.kr

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